半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件中低端公测设施涉重废渣——MVR硬性间歇零排建设项目
楼盘背静
半导一个公测楼盘,人数150立米米/天,是第一家半导公测配套方案涉重污污水 零排楼盘。公测部分的镀镍、镀铜、引线前端框架的洗涤会出现含镍含铜污污水 ,该项目必须"无尾水外排",产水其他回收利用于产线。
水质量症状与薄弱环节
废液以含镍侧重于(含量10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH价格波动大(2–12),再有光刻胶残余的大量可挥发物。公测厂田径场紧,追求清理措施占地面小;零排预示着浓水没法运输多余,须得本地人减压蒸馏凝结反馈控制。
净化处理工学艺路线规划
整个走"分质抽取 → 预清理除杂 → 无机化学凝固除镍 → 活性炭过滤 → UF+有级RO → MVR强行重复多效蒸发 → 冷疑水工业废水处理":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢氧化的物钠生成二维码Ni(OH)₂奠定,另加塑炼钠厚度捕集器多余镍(塑炼镍Ksp比氢氧化的物镍更小,可让镍压到0.1毫克/升下面的);
结晶有水出经多媒介滤出+门卫滤出后进UF,再进3级RO,产水直观回产线除污;
RO浓水(含盐+残余物天价属)进MVR立即配置汽化掉器,立即配置能扛高含盐积灰,汽化掉器內置高清在线的洗涤,容易堵;
MVR气液分离器水回到最初造纸废水处理洗手池,多效蒸发残液委外填埋或身为危险废物妥善处理,整个的厂内无液体状态外排。
重要性机器设备独到之处讲解
MVR强迫无限循环法不同之处平民降膜汽化,无限循环法气速高、对流换热系数面不能结镍盐/碳酸盐垢,适用于首测在这种"排水量很大但水的硬度杂"的景象;一体式化撬装设汁占地面积比传统艺术汽化塘+多效汽化实施方案小60%以下;甲醛味道侧服务设施怪物滤池,把调结池和厌氧颗粒污泥间的甲醛味道汇集后分解成CO₂和水,防范首测厂相邻企业办公场地的甲醛味道申诉。
治理 疗效与经济发展
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远超过《化学镀环境破坏物排放物标标》表三;彻底150立米米/天产水工业废水处理于公测产线除垢,改用等量最新水;危险废物(减压蒸馏残液+厌氧颗粒污泥)量比傳統"沉淀出的+排放物标"形式 减约70%。对富士康侧,公测工程项目生态环保分级管理卡点被揍通;